【NAURA FURNACE GO】北方华创发布12英寸先进低压化学气相硅沉积立式炉设备 近日，北方华创正式发布SICRIUS PY302系列12英寸低压化学气相硅沉积立式炉设备。该设备面向高端逻辑芯片与存储芯片领域非晶硅、多晶硅薄膜沉积技术，成功攻克高深宽比结构填充、高平坦度薄膜生长和兼容低温工艺三大技... 搜狐快讯2025-07-071 阅读0 评论
